半導体装置向け真空ポンプ

半導体装置向け真空ポンプの概要

半導体製造装置向けの真空ポンプに関するビジネステーマ

半導体装置向け真空ポンプの用語の定義

真空ポンプとは、容器内に真空をつくりだすために気体を排出するポンプのこと。半導体製造プロセスで真空状態を保つことが重要であるため、真空ポンプは半導体製造装置の重要な構成要素になる

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半導体装置向け真空ポンプに関連するビジネステーマ

ドライ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ(英:Dry vacuum pumps)とは、封液として油や液体を使用しない真空ポンプ。水や油が拡散しないため、よりクリーンな真空が得られる。80年代に半導体産業向けに開発された

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半導体装置向け真空ポンプの関連企業

株式会社島津製作所
計測機器、医用機器、航空・産業機器、その他の各事業分野で、研究、開発、製造、販売、保守サービスなどにわたる事業活動を行っています。

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