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日立ハイテクサイエンス、エネルギー分散型蛍光X線分析装置「EA1400」を発売

2020/6/15 12:00
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発表日:2020年6月15日

エネルギー分散型蛍光X線分析装置 EA1400の販売を開始

株式会社日立ハイテクサイエンス(取締役社長:伊東 祐博/以下、日立ハイテクサイエンス)は、このたびエネルギー分散型蛍光X線分析装置の新製品 EA1400を日本国内向けに販売開始し、今後海外向けにも販売網を拡大します。

近年、環境保全への取り組みとして製造業をはじめとした多くの企業においてRoHS/ELV指令(*1)やハロゲンフリー(*2)など環境規制物質の含有量を把握・管理することが必要であり、エネルギー・資源問題を背景としたリサイクルや代替材料開発では、品質や性能に影響する特定元素の含有量をモニタリングするなど、さまざまな分野で徹底した品質管理や工程管理が求められています。こうした中、蛍光X線(*3)による分析は、他の分析手法と比較して試料形状の影響を受けにくく、容易に固体・粉体・液体の非破壊分析が可能なため、迅速・簡便な元素分析手法としてニーズが高まっています。

エネルギー分散型蛍光X線分析装置は、X線を照射することで試料から発生する蛍光X線を検出し、そのエネルギーと強度から試料に含まれる元素の定性・定量を分析する装置です。このたび販売開始するEA1400には、以下の特長があります。

1.新型高性能半導体検出器(シリコンドリフト検出器)を採用

蛍光X線分析装置における検出器の種類には比例計数管などもありますが、半導体検出器はエネルギー分解能が非常に高いため、分光器を用いないエネルギー分散型蛍光X線装置にはよく用いられています。EA1400が搭載している半導体検出器は、従来からの特長である高計数率(*4)を維持しながら分解能をさらに高め、かつ広いエネルギー帯での量子効率も向上させました。それにより、蛍光X線エネルギーが高めの元素であるパラジウム、カドミウムやスズ、バリウム、アンチモンなどの検出性能は従来機種と比較して約2倍向上し、より迅速な元素分析が可能となり、当社歴代の蛍光X線分析装置の中で最も高感度な装置として、高精度、高スループット分析を実現しています。

2.試料観察と照射X線の同軸光学系の採用

従来の装置において、これまで測定部位に対して斜め下側から試料にX線を照射した場合、試料に埋没した異物や凹凸のある試料分析では、測定部位を試料台と同じ高さになるように加工し測定する必要がありました。EA1400では、透明のコリメータ(*5)ブロックと反射板を用いることで照射X線と試料観察カメラが捉える光線を同軸とする構造にし、正確に測定部位へX線を照射でき、加工しにくい試料をそのままの状態で分析することが可能となりました。

3.品質管理、工程管理の作業性に優れたソフトウエア

従来、環境規制物質測定の際にユーザビリティ面での評価を得ていたソフトウエアは、EA1400による異物分析にも適用範囲を拡大し、測定の簡便性を向上させました。

※以下は添付リリースを参照

リリース本文中の「関連資料」は、こちらのURLからご覧ください。

添付リリース

https://release.nikkei.co.jp/attach_file/0535782_01.pdf

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