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荏原、新型空冷式ドライ真空ポンプを販売開始

2018/12/10 10:40
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発表日:2018年12月10日

新型空冷式ドライ真空ポンプ販売開始

一般産業用途向け小型・軽量EV-PA型

※製品画像は添付の関連資料を参照

株式会社荏原製作所(以下:荏原)は、2018年12月より分析・医療・食品・コーティング業界における真空排気用途で、よりクリーンな真空環境を生み出すユーザーフレンドリーな新型空冷式ドライ真空ポンプ EV-PA型の販売を開始しました。

1.背景と狙い

今回の新製品がターゲットとする分析・医療・食品・コーティングの業界では、清浄な真空環境の実現や真空ポンプのメンテナンス頻度低減などの要求が高まっています。

荏原は、真空の質やポンプのメンテナンスインターバルに対して要求が厳しい、半導体業界で培った独自のドライ真空ポンプの技術を生かし、分析・医療・食品・コーティング業界のお客さまの要望に応える新製品を開発しました。

2.特長

・油・水分の真空側への逆流が無い。

・非接触シールを採用しており、シール交換不要でメンテナンスインターバルが長い。

・必要なユーティリティは電源のみ。

・重量9kg~21kgと非常に軽量で移動が容易であり、幅広い用途(*1)で使用可能。

・CEマーク・NRTL・SEMI S2に対応。(海外でも使用可能)

・排気速度は50~500L/minの3機種。

3.今後の展開

販売目標は、2019年は1,000台/年、将来的には10,000台/年を目指す計画です。

荏原は、お客さまの生産性向上やトータルコストの削減に貢献する製品・サービスの開発に一層注力してまいります。

※以下は添付リリースを参照

リリース本文中の「関連資料」は、こちらのURLからご覧ください。

製品画像

http://release.nikkei.co.jp/attach_file/0497699_01.jpg

添付リリース

http://release.nikkei.co.jp/attach_file/0497699_02.pdf

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