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エア・ウォーター、350℃の高耐熱性能を有する半導体製造装置用Oリングを開発

2018/8/1 15:25
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発表日:2018年8月1日

350℃の高耐熱性能を有する半導体製造装置用Oリングを開発

 

 エア・ウォーター株式会社(本社:大阪市中央区、代表取締役会長 豊田 昌洋、以下:当社)と、当社の子会社であり、Oリング(※)等のシール材を製造・販売するエア・ウォーター・マッハ株式会社(本社:長野県松本市、代表取締役社長 都築 康彦、以下:エア・ウォーター・マッハ)は、Oリング業界では世界で初めて、350℃の高耐熱性能を有するパーフルオロエラストマー(FFKM)製Oリングの開発に成功し、この新材料・新製法を用いた半導体製造装置用Oリングの販売を開始することとしましたので、お知らせします。

 なお、本開発品は、製造・販売元となるエア・ウォーター・マッハにおいて、本年9月からサンプル供給を開始し、2019年1月から量産を開始する予定です。

     記

1.半導体製造装置用Oリングについて

 エア・ウォーター・マッハは、各種産業機械等のシール材として使用される「Oリング」の総合メーカーです。Oリングの材料となり得るゴムの特性は、弾性に優れ、圧縮永久歪がよく、耐摩耗性に富み、耐熱性に優れ、適用される液体や気体に侵されることなく、寿命が長いことにあります。しかしながら、これら全ての条件を満たす材料は存在しないため、Oリングの使用用途に応じた材料を選択する必要があります。特に、半導体製造装置に使用されるOリングは、各種プラズマに曝されるなど、過酷な化学環境の下で使用されるため、高い耐熱性、耐薬品性、耐プラズマ性が求められます。

 エア・ウォーター・マッハは、パーフルオロエラストマー(FFKM)を材料とする高機能Oリングを得意とする製造・加工メーカーであり、「R.Pororoca(ポロロッカ)」のテクニカル・ブランドで半導体製造装置用Oリングの製造・販売を行っています。

2.開発した技術の概要

 (1)ポリマー材の選定、(2)新たな硬化材の導入、(3)新製法・新評価技術の採用を構成要素とする“新製造システム”によって、350℃の高耐熱性能を有するパーフルオロエラストマー(FFKM)製Oリングの開発に成功しました。

 *以下は添付リリースを参照

 

 

リリース本文中の「関連資料」は、こちらのURLからご覧ください。

添付リリース

http://release.nikkei.co.jp/attach_file/0486794_01.pdf

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