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TDK、世界最小の超音波センサー 体積1000分の1

2019/6/25 19:51
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TDKは25日、対象物との距離を正確に測定できる世界最小の超音波センサーを開発し、6月から量産を開始した。微細加工の技術を応用して、超音波の発信機と受信機、信号処理部をワンチップ化した。自動掃除機などに使う通常の超音波センサーと比べて、体積を1000分の1に小型化した。小型の電子機器やロボット、ドローン、仮想現実(VR)用ゴーグルなどへの採用を見込む。

TDKの小型超音波センサー「CH-101」

TDKが開発した小型超音波センサー「CH-101」は、縦3.5ミリメートル、横3.5ミリのチップ内に必要な機能を搭載した。より少ない消費電力で距離を測定でき、生産コストも安い。小さく搭載しやすいことから、あらゆるモノがネットにつながる「IoT」機器で採用が期待される。

MEMS(微小電子機械システム)技術を活用したTOF(タイム・オブ・フライト)型の超音波センサーとしては「世界初」(TDK)。MEMS技術の活用で、センサー精度が大幅に高まった。1メートルの距離を測定でき、誤差は1ミリメートル以下に抑えられる。今後は測定距離を5メートルに伸ばした製品も開発する計画だ。

新センサーは台湾の宏達国際電子(HTC)が販売する一体型VRヘッドセットに採用済みだ。高い測定精度を生かし、体の動きに合わせて映像を遅れなく表示することで「VR酔い」を低減できたという。

超音波センサーは、TDKが2018年に買収した米センサー企業、チャープ・マイクロシステムズが中心になって開発した。TDKグループの総合力を生かし、信号処理のソフトなどを組み合わせた。今後は複数のセンサーとソフトを融合し、スマートホームや自動車など新しい分野へ利用を広げていく。

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