新熱工業、性能そのまま大きさ半分（ＢｒａｎｄＮｅｗ）

2018年4月20日日経産業新聞 331文字

　【水戸】工業用ヒーターを製造する新熱工業（茨城県ひたちなか市）は、半導体製造装置などに組み込む小型の気体加熱器を開発した＝写真手前。　加熱温度などの性能は保ちつつ、大きさを従来品の約半分に、重量は約５分の１に抑えた。気体加熱器は半導体や有機ＥＬ、液晶ディスプレーなどを製造する装置に取り付ける。 …

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