ＵＴＫが研磨機、ＳＡＷフィルター用ウエハー、厚みむら、５分の１。

2001年8月24日日経産業新聞 372文字

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　携帯電話部品の弾性表面波（ＳＡＷ）フィルターの研磨機を製造するユーティーケー・システム（ＵＴＫ、神奈川県相模原市、鵜沢昭彦社長、０４２・７４５・６４９４）は九月に、ウエハー表面の厚みむらを従来の五分の一以下に抑えて平たん度を高めることができる研磨機を発売する。　新装置はＳＡＷフィルター材料の酸化…