【統計】中国：華為がＥＵＶ露光技術の特許取得、自社開発推進か　中国

2022年11月21日亜州リサーチ中国株ニュース 587文字

　通信機器最大手の華為技術（ファーウェイ）は１５日、新たな極端紫外線（ＥＵＶ）露光技術の特許を公開した。「反射鏡、露光装置と制御方法」との特許で、固定干渉パターンの形成により均等な光線照射ができなくなる問題を解決し、ＥＵＶ露光装置の最適化に貢献する。ファーウェイが先端露光装置の研究開発（Ｒ＆Ｄ）に自…

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