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新興の魁半導体、真空装置内で使えるセンサー開発

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プラズマ発生装置などを手掛けるスタートアップ、魁半導体(京都市)は、真空装置の中でも使えるセンサーデバイスを開発した。半導体や電子部品の製造工程で使う真空装置内で色彩などの情報が得られれば、歩留まり(良品率)が2割ほど改善する可能性があるという。年内にも発売を見込む。

真空装置は半導体や電子部品の製造のほか、医療やバイオ関連の開発などで使われている。装置内に電解液などを含む電子機器を搭載したセンサ...

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