SCREEN、次世代の半導体洗浄装置　生産性3割改善

SCREENホールディングスは7日、半導体製造に使う新型の洗浄装置を発売した。従来より細かいゴミを取り除くことができ、回路の微細化や複雑化が進む次世代の先端半導体にも対応できるという。内部のロボット機構などを工夫し、従来機種より生産性を3割改善した。海外の半導体メーカーを中心に売り込む。

新機種「SU-3400」は滋賀県彦根市の主力工場で生産し、子会社の SCREENセミコンダクターソリューションズ（京都市）が販売する。1時間あたり1200枚のシリコン基板を洗浄できる。価格は1台数億円程度とみられる。

シリコン基板に電子回路を形成した後に表面の微細なゴミを洗い落とすために使う。洗浄液を出す機構などを見直し従来よりも小さなゴミを取り除けるようにした。回路線幅が数ナノ（ナノは10億分の1）メートルになる次世代の先端半導体の製造でも活用できるという。装置内部でシリコン基板を運搬するロボット機構を工夫するなどして、生産性を従来機種より3割高めた。

SCREENは半導体洗浄装置のうち枚葉式と呼ぶタイプで約4割の世界シェアを持つ。