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日立ハイテク、米国に半導体の技術開発拠点

日立ハイテクは31日、半導体技術の開発に向けて、新しいエンジニアリング拠点を米国オレゴン州に設立すると発表した。半導体メーカーの近くに拠点をつくることで、顧客企業と半導体技術を共同で開発できるようにする。日立ハイテクが持つ様々な装置を検証できるほか、日立製作所のIT(情報技術)やOT(制御・運用技術)を活用した顧客工場の生産性改善まで視野に入れる。

新拠点では、日立ハイテクが強みを持つエッチング装置に加えて、電子顕微鏡やウエハー検査装置など、幅広い装置の検証ができる。実際の製造ラインの各工程を想定して装置の導入・運用を顧客と検討できるため、より高い付加価値を提案できると期待する。

半導体では、集積度を高める「微細化」技術の進化で、製造技術が年々高まっている。顧客が持つデータの活用なども視野に入れ、半導体開発期間の短縮や歩留まり(良品率)の向上を目指す。

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