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昭和電工、米国で半導体用ガス検討 韓国SKと共同生産

昭和電工は29日、韓国SKと半導体製造に使う高純度ガスを米国で生産する検討を始めたと発表した。高純度ガスは微細な電子回路形成や半導体装置内の洗浄などで使われる。複数種類のガスを生産候補とし、どのガスを量産するかや米国工場の生産能力、両社の投資額などの詳細を詰める。

半導体製造に使う高純度ガスは約50種あるとされる。たとえば有機化合物「フッ化メチル」や無機化合物「フッ化水素」などは半導体ウエハー上に電子回路をつくるために使う。昭和電工は2025年以降の量産をめざす。

米政府は中国とのハイテク覇権争いで半導体メーカーを支援し、米インテルや台湾積体電路製造(TSMC)が相次ぎ米国で大規模投資をしている。高純度ガスはアジアの生産拠点で生産して米国へ運んでいるが、現地生産できれば供給不安を減らせる。

半導体製造に不可欠なフッ化水素を巡っては、19年7月に日本政府が韓国への輸出審査を厳格化したことで対韓輸出が急減した。SKグループは17年時点で昭和電工と韓国で合弁会社を設立した。SKマテリアルズが主体となってフッ化水素の生産を拡大し、半導体大手のSKハイニックスなどに供給してきた。

日本政府の輸出管理措置によって日韓関係は「戦後最悪」と呼ばれるほどに悪化した。ただ今回の両社の協業は、日韓の半導体供給網(サプライチェーン)の相互依存関係が強いことを示したといえそうだ。

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