/

ニコン、高解像度な中小型パネル向け露光装置

ニコンは高解像度の中小型パネルを製造できるフラットパネルディスプレー(FPD)露光装置の新製品を発売する。高機能のモバイル機器や仮想現実(VR)機器などに搭載する有機ELパネルや液晶パネルの製造に適用する。従来装置と同じ波長の光源を利用することで既存の設備をそのまま使えるようにしたり、生産性を高めたりすることで、生産コストも削減できる。

新製品のFPD露光装置「FX-6AS」は収差の小さい投影レンズを採用することでパネルの高解像度化や高精度化を実現した。「G6」と呼ぶガラス基板サイズのパネル生産に対応する。11月上旬にも露光装置を発売する予定だ。

生産するパネルは、スマートデバイスやVR、AR(拡張現実)機器など高い性能が求められる機器に対応できる。例えば、近くから見ても画面がきめ細かく見えるように高精細にし、身につけるウエアラブル機器にも対応できるように薄型・フレキシブル、低消費電力といった機能も対応する。

光源は従来製品と同じ「i線」を採用した。同じ生産ラインの周辺装置を再利用できるため、顧客の初期投資も減らせそうだ。一度の露光にかかる時間を短縮し、スループットも高めた。

初割ですべての記事が読み放題
今なら2カ月無料!

関連企業・業界

企業:

セレクション

トレンドウオッチ

新着

注目

ビジネス

ライフスタイル

新着

注目

ビジネス

ライフスタイル

新着

注目

ビジネス

ライフスタイル

フォローする
有料会員の方のみご利用になれます。気になる連載・コラム・キーワードをフォローすると、「Myニュース」でまとめよみができます。
新規会員登録ログイン
記事を保存する
有料会員の方のみご利用になれます。保存した記事はスマホやタブレットでもご覧いただけます。
新規会員登録ログイン
Think! の投稿を読む
記事と併せて、エキスパート(専門家)のひとこと解説や分析を読むことができます。会員の方のみご利用になれます。
新規会員登録 (無料)ログイン
図表を保存する
有料会員の方のみご利用になれます。保存した図表はスマホやタブレットでもご覧いただけます。
新規会員登録ログイン