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東京エレクトロン、宮城の工場に新棟 共同研究拠点に

半導体製造装置大手の東京エレクトロンは22日、宮城県大和町の工場敷地内に建設中だった「宮城技術革新センター」が完成したと発表した。顧客企業との共同研究や装置の評価を進める。半導体製造に欠かせない主力装置の技術開発なども想定する。高速通信規格「5G」や新型コロナウイルスによる巣ごもり需要などを受けて、半導体需要は増加している。製造装置の市場が拡大するなか、新しい拠点の完成で成長を加速する。

宮城技術革新センターは、東京エレクトロンの製造子会社である東京エレクトロン宮城の本社工場の敷地内に建設した。地上4階建てで、延べ床面積は1万9400平方メートル。1階から2階にかけて顧客企業が利用できる共同研究エリアや、装置の試験ができるトレーニングセンターなどを設けた。

東京エレクトロン宮城では、半導体ウエハー上に回路を形成するための穴や溝を掘る「エッチング装置」を開発・生産している。今後も市場成長が期待できると見込み、さらなる技術開発を進める狙いだ。

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