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JSR、先端半導体材料の米社を完全子会社化 450億円

半導体製造に欠かせないフォトレジストは日本企業が世界シェアの9割を握る

JSRは17日、先端半導体技術「EUV(極端紫外線)」に対応する感光材(フォトレジスト)を開発・製造する米インプリア(オレゴン州)を完全子会社にすると発表した。投資額は約450億円で、10月末の実行を予定する。インプリアは次世代半導体向けの材料も開発しており、JSRは長期的な先端技術の確保を狙う。

JSRはすでにインプリアの株式を21%持っており、残りの79%を現金で買い取って完全子会社化する。エリック・ジョンソン最高経営責任者(CEO)は17日に開いたオンライン記者会見で「2022年度にはインプリア単体でも黒字化をめざす」と述べた。須原忠浩常務執行役員は「インプリアの技術は先端半導体メーカーから高い評価を得ており、黒字化に向けて手応えを感じている」と話した。

半導体の回路形成工程に使うフォトレジストは、シリコンウエハーにパターンを焼き付ける際に塗り付ける感光性の液状樹脂。半導体の微細化が進み、より性能の高いものが求められている。フォトレジストはJSRや東京応化工業など日本企業が世界シェアの9割を握る。JSRは今回の完全子会社化で、インプリアが持つ次世代半導体向けの「メタルレジスト」と呼ばれる材料の技術も取り込む。

JSRは5月に祖業であるエラストマー(合成ゴム)事業のENEOSへの売却を発表しており、今後は半導体材料やライフサイエンス分野に注力する方針だ。ジョンソンCEOは「フォトレジストの市場規模は今後10年で倍増するだろう」と述べ、「技術の優位性を保つため、今後も積極的な投資が必要になる」との考えを示した。

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