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旭化成、半導体工場の火災原因特定できず 

ケーブルの接触不良や断線と推定

火災が起きた旭化成子会社、旭化成エレクトロニクスの半導体工場

旭化成は14日、2020年に起きた宮崎県延岡市の半導体工場の火災について、原因を特定できなかったとの事故調査報告書を発表した。状況から半導体ウエハー製造装置の接触不良や断線が原因と推定したものの、現場の損傷が激しく、原因の特定には至らなかった。

20年10月に100%子会社の旭化成エレクトロニクス(東京・千代田)の半導体工場で火災が起き、鎮火に5日かかった。同工場の火災で一時半導体供給が滞ったことで、音響機器などの生産に影響が出た。

報告書では、火元は5階建ての建屋の4階にあるクリーンルーム内の半導体ウエハー製造装置とみている。従業員が装置付近で出火している様子を目撃したこと、チタンを除去する装置から異常を伝える信号があったことなどから判断した。出火の原因は類似の装置を使ってあらゆる状況を検証した結果、ケーブルの接触不良や断線と推定した。

同社で生産していた半導体は現在、ルネサスエレクトロニクスなどが代替生産している。当面は生産委託を続けながら、新工場での生産などを検討する。

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