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宇部興産、半導体薬液の生産能力2倍 27年度までに

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宇部興産は半導体洗浄に使う薬液の生産能力を2027年度までに21年度比2倍に増やす。現状は旺盛な半導体需要でフル稼働の状況だ。国内の半導体やシリコンウエハーメーカー向けに供給する。今後見込まれる国内の半導体素材需要の増加に備え、増強を決めた。

宇部ケミカル工場(山口県宇部市)で、ウエハーに付着した微細粒子を除去するための洗浄に使う硝酸薬液の生産ラインを増設する。投資額は明らかにしていない。同工場で生産する...

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