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キヤノン、半導体装置の運用支援 業務効率3割向上

キヤノンは5日、半導体製造の中核工程を担う露光装置運用支援システムの提供を始めたと発表した。装置の状態をリアルタイムに分析するほか、異常時に自動復旧したり最適な製造条件を提案したりする機能を設けた。顧客の業務効率は3割以上高まるという。業務効率化や生産性向上を求める国内外の半導体メーカーに売り込む。

提供を始めたシステムは、装置をネットワークでつなぎ画面上で稼働状況を一括して確認できるようにした。センサーの情報などから異常の予兆や発生を検知して知らせ、装置が停止しても自動で復旧させる機能を搭載した。

人による復旧が必要になった場合は手順書を表示するほか、キヤノンの技術者が遠隔でサポートしてスムーズな復旧を支援する。装置が停止した原因を分析したり、生産性を高めるための改善案を提示したりする機能も付けた。

キヤノンは50年以上にわたって半導体露光装置を手がけ、稼働装置台数は世界で3000台超に上る。これまで培ってきたデータを活用し、製品に合わせて位置合わせや制御設定などを最適化する機能を搭載した。

従来から顧客の装置運用を支援するサービスは行ってきたが、様々な機能を一括して提供するシステムは今回が初めてという。

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