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東京エレクトロンに行政指導 総務省、半導体装置巡り

総務省は8日、半導体製造装置大手の東京エレクトロンを行政指導した。半導体製造に使う高周波利用設備を電波法の許可を受けずに設置していた。同社は無許可設置を認め、既に許可を受ける手続きをしたという。

半導体製造装置の高周波電源やオゾンガス発生装置など計793台の高周波利用設備を無許可で設置していた。2017年ごろから許可申請していなかった。「失念していた」という。

許可を受けずに高周波利用設備を運用して電波法に違反した場合、1年以下の懲役または100万円以下の罰金を科すとしている。

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