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殺菌活用の深紫外線 LED基板価格10分の1 三重の企業

半導体ウエハーの研磨装置を開発する東邦鋼機製作所(三重県四日市市)と三重大学は、深紫外線LEDの基板の表面の凹凸を1nm(ナノ=10億分の1=メートル)単位に抑え、価格を従来の10分の1程度に下げる技術を開発した。深紫外線LEDはウイルスの除去や殺菌に利用が広まっている。2022年にもサンプルを作り電子部品メーカーに売り込む。

深紫外線は波長が短く、水や空気を浄化する効果があるとされる。出力するLEDには窒化アルミニウムを使うのが主流だが製造コストが高い。東邦鋼機と三重大は基板用に高品質の結晶を作るのが難しかったサファイアで、新たに東邦鋼機が生み出した水を使う加工法を用いる。基板の表面の凹凸を1nm単位で調整して、平たんに加工できるという。

サファイア基板は研磨用に高価なダイヤモンドの硬い粒子「砥粒(とりゅう)」を使うことが多かった。水を使えば安く作れるという。中小企業庁から2021年度の「戦略的基盤技術高度化支援事業」に採択され、最終的な製品開発に向け研究費の3分の2が助成されることが決まっている。三重大が実用化に向けた開発を進める。

深紫外線LEDは1個5千~1万円するという。冷蔵庫やエアコンの内部除菌に使う機種もあるが、高価なため1台につき数個しか使えなかった深紫外線LEDを増やせるという。

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