/

浜ホト、次世代パワー半導体材料の品質評価装置

窒化ガリウムの品質を定量的に評価できる「ODPL測定装置 C15993-01」

浜松ホトニクスは、次世代パワー半導体の基板材料の品質を定量的に評価できる装置「ODPL測定装置 C15993-01」を8月2日発売する。パワー半導体は電力を効率良く制御でき、次世代品では電気自動車(EV)などの需要拡大が見込まれる。定量評価の実現で、新たな基板材料の実用化が進むと期待する。

窒化ガリウムなど、化合物半導体の基板材料となる結晶の品質を評価できる。東北大学の研究グループが発見した計算手法を応用する。構造の欠陥や不純物の有無といった品質を数値にして定量的に評価できる。従来の手法でも非接触で高速に品質を評価することはできたが、構造欠陥などを定量的に評価するのが難しかった。

品質評価は結晶から放出された光の強さなど確かめる。従来手法では1つの方向に放出される光を使って評価していたため、光の検出器の位置や角度などによって光の強さを測った結果がぶれる課題があった。新装置では独自の計算手法を使ってどんな方向からの光も強さを平準化して検出でき、正確に評価できるようにした。

本体価格は1100万円。レーザー光源を別途買う必要がある。国内外の大学や半導体基板メーカーの研究者向けに売り込み、3年後に年14台の販売をめざす。窒化ガリウムを使ったパワー半導体の量産ラインで品質を評価できる装置の開発も進める。

すべての記事が読み放題
有料会員が初回1カ月無料

関連トピック

トピックをフォローすると、新着情報のチェックやまとめ読みがしやすくなります。

関連企業・業界

セレクション

トレンドウオッチ

新着

注目

ビジネス

ライフスタイル

新着

注目

ビジネス

ライフスタイル

新着

注目

ビジネス

ライフスタイル

フォローする
有料会員の方のみご利用になれます。気になる連載・コラム・キーワードをフォローすると、「Myニュース」でまとめよみができます。
新規会員登録ログイン
記事を保存する
有料会員の方のみご利用になれます。保存した記事はスマホやタブレットでもご覧いただけます。
新規会員登録ログイン
Think! の投稿を読む
記事と併せて、エキスパート(専門家)のひとこと解説や分析を読むことができます。会員の方のみご利用になれます。
新規会員登録 (無料)ログイン