エア・ウォーター、熱制御機器を増産　長野の新工場稼働

産業ガス大手のエア・ウォーターは半導体製造装置向けの熱制御機器の生産能力を5割増強した。子会社の日本電熱（長野県安曇野市）が建設を進めてきた新工場が完成し、7日稼働した。世界的な半導体需要の拡大に伴う半導体製造装置メーカーの増産の動きに対応する。

日本電熱の安曇野本社工場内に約35億円を投じて建設した新工場棟が稼働した。鉄骨2階建てで延べ床面積は約6200平方メートル。既存工場にあった熱制御機器製造ラインを移設・増強して生産効率も高める。

日本電熱は半導体ウエハーを均一に加熱するホットプレートと冷却用のクーリングプレートなど半導体の製造工程に不可欠な熱制御機器を生産している。半導体の微細化や積層化を受けて熱制御機器の重要性も増しているといい、増産体制の構築などにより2021年度に71億円だった日本電熱全体の売り上げを27年度には100億円に引き上げたい考えだ。