半導体装置各社、1～3月の受注減速　来期回復鈍化も

半導体製造装置各社の受注が減速している。2013年1～3月期は主要7社のうち、東京エレクトロンなど3社の受注額が直前の四半期（12年10～12月期）に比べ減少しそうだ。スマートフォン（スマホ）需要の変調が背景にあり、受注が増える企業も、伸びは小幅なところが多い。14年3月期の業績回復ペースが鈍る可能性が出てきた。

半導体装置の受注はおおむね3～6カ月先の売上高を左右する。株式市場は業績の先行指標として受注に注目し...