不二越機械、青色LED基板を安価に 結晶育成炉を開発

2011/8/3付
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不二越機械工業(長野市、市川浩一郎社長)は青色発光ダイオード(LED)の基板材料となる単結晶サファイアの結晶育成炉を開発した。現在主流の製法より生産性が5割程度高いのが特徴で、青色LEDの低価格化に貢献する。研究開発用としてLEDメーカーなどに向けた販売を始める。

育成炉は信州大学工学部(長野市)と共同開発したもので、「垂直ブリッジマン法」と呼ぶ大型化しやすい結晶製造方法を採用した。青色LEDの基板材料として切り出すのに適した構造の単結晶の生産が可能となり、直径が4インチで長さが約200ミリメートルのサファイア単結晶を育成できる。

現在主流の単結晶の製造方法では、育成した単結晶の一部のみしか基板材料として利用できない。不二越機械が開発した育成炉は、単結晶の9割程度を基板材料として利用できる。

そのため同じ量の原料から生産できる基板材料は5割程度増え、生産に必要な電力使用量も半減するという。

育成炉は本社工場で生産する予定。高さが4メートルほどで、販売価格は1台4000万~5000万円。年内にもLEDメーカーなどに研究開発用として販売する。すでに国内外から引き合いがあるという。不二越機械は今後、基板の量産用に対応できる装置を開発する方針だ。

サファイア基板の原料の単結晶はロシアなどからの輸入が多いという。基板材料を効率的に安定して生産できれば、LEDの低価格化につながる見込み。

不二越機械は半導体材料であるシリコンウエハーの表面研磨装置の最大手。LED基板でも研磨装置を手掛けており、結晶育成炉の開発で、製品ラインアップの拡充を図る。2012年2月期の売上高は70億円程度を見込んでいる。

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