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ニューフレア、1~2世代前の半導体製造装置も注力

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NIKKEI BUSINESS DAILY 日経産業新聞

高速通信規格「5G」や自動運転向けに高機能の半導体需要の拡大が続く一方、最先端の半導体の投資コストが高まっている。東芝傘下のニューフレアテクノロジーは電子回路の原版となるフォトマスクに微細なパターンを描く電子ビーム描画装置の大手だ。杉本茂樹社長に需要動向や事業戦略を聞いた。

――最先端の描画装置の開発状況を教えてください。

「5ナノ(ナノは10億分の1)メートルの回線パターンに向けて、26万本の電子ビ...

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