「超臨界」活用し半導体の不純物除去 レクザム
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四国
香川
2020/7/20 20:05
情報元
日本経済新聞 電子版
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香川県や愛媛県に製造拠点を置く電子機器製造のレクザム(大阪市)は、スマートフォンに内蔵する半導体の高密度化に対応した製造装置の開発を進めている。スマホなどの小型化に伴い、半導体の製造工程で不純物をより細かく取り除く必要性が高まる中、「超臨界」と呼ばれる流体の特性を活用した新装置の試作機を完成。実証実験を経て、来年にも発売する。

「半導体に求められる集積度は、1~2年に2倍のペースで高まっている」…

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