SKマテリアルズ、半導体向けフッ化水素を量産
日本の対韓輸出管理強化に対応

2020/6/17 15:00
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【ソウル=細川幸太郎】韓国のSKマテリアルズは17日、半導体の生産工程で使うフッ化水素ガスの量産を始めたと発表した。一定水準の高純度を実現し、サムスン電子やSKハイニックスが導入するという。日本が対韓輸出管理を厳格化した半導体関連材料で韓国勢の国産化が進んでいる。

SKマテリアルズは半導体の洗浄工程に使うフッ化水素の量産を始めた(韓国東部の同社工場)

韓国東部の栄州(ヨンジュ)市の工場で量産を開始した。SKマテリアルズによると、量産を実現したフッ化水素ガスの純度は99.999%で「ファイブナイン」と呼ぶ純度。日本の素材メーカーが輸出してきた9が11個並ぶ超高純度の「イレブンナイン」と比べて品質は劣るものの、半導体ウエハーの洗浄など生産工程の一部で導入が始まったとしている。

SKマテリアルズは日本の対韓輸出管理の厳格化を受けて2019年11月に関連素材の開発センターを開設。SKハイニックスがつくったファンド資金も活用しながら、フッ化水素の量産化に向けた研究開発を続けてきた。年間15トン規模の生産設備を稼働させて、23年には韓国内での半導体生産に使用するフッ化水素の国産化比率を70%にまで高める目標を持つ。

日本政府は19年7月に対韓輸出管理の厳格化を打ち出し、半導体関連材料の輸出を事実上規制した。韓国企業側は代替調達先を模索し、韓国の素材メーカーは政府支援を受けて関連素材の国産化を急いできた。ソウルブレーンは純度「99.999%以上」(同社)の液体フッ化水素の量産を始めている。

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