キヤノンの半導体製造装置、IoTで商機

キヤノンが半導体などの回路を焼き付ける露光装置の事業を拡大している。半導体向けの装置では微細化の技術開発を進める一方、小型のウエハーを扱う半導体の製造支援にも取り組む。あらゆるものがネットにつながる「IoT」により、材料や製法が異なる半導体製品が広がっているためだ。露光装置などの光機事業を統括する武石洋明常務執行役員に今後の戦略を聞いた。

――半導体関連での注力分野はどこですか。

「IoTや次世...