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東エレク、宮城県の工場に新棟を建設

東京エレクトロンが宮城工場内に建設予定の「宮城技術革新センター」の外観(イメージ図)

半導体製造装置大手の東京エレクトロンは23日、宮城県大和町の工場敷地内に「宮城技術革新センター」を建設すると発表した。顧客との共同研究や装置の評価のための施設として利用する。半導体の製造に欠かせない主力装置を中心に扱う。2020年6月に着工し、21年6月に完成する予定だ。新棟建設の投資額は公表していない。

東京エレクトロンの製造子会社である東京エレクトロン宮城の本社工場の敷地内に建設する。地上4階建てで、延べ床面積は1万7900平方メートル。1階から2階にかけて顧客企業が利用できる共同研究エリアや、装置の試験ができるトレーニングセンターなどを設ける。

東京エレクトロン宮城は半導体ウエハー上に電気回路を形成するための穴や溝を作る「エッチング装置」を開発、製造している。半導体の市況回復や技術発展に合わせ、今後も市場成長が期待できると判断し、新棟を建設する。

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