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SKにもフッ化水素の輸出許可、高純度品は未承認

【ソウル=細川幸太郎】韓国半導体大手SKハイニックス向けのフッ化水素の輸出を日本政府が許可したことが2日わかった。既にサムスン電子向けは許可が出ている。ただ最先端半導体に必要な高純度の液体フッ化水素は許可されておらず、安定調達を望む韓国企業側の不安は続いている。

SKハイニックスはサムスン電子に次いでメモリー世界2位

SKハイニックス関係者が明らかにした。フッ化水素は半導体の生産工程でシリコンウエハーへの回路形成や洗浄などに使われる。SKやサムスンはフッ化水素の多くを日本からの輸入に頼っていた。日本政府が輸出規制を厳格化したフッ化水素には液体と気体があり、最先端半導体の生産工程で使われる高純度の液体フッ化水素は「依然として許可が下りていない」(業界関係者)という。そのためサムスンやSKは国産品への代替を模索している。

韓国産業通商資源省の幹部は輸出許可が遅れている理由として「(日本政府による)資料の追加提出の要求が多い」と話す。正常化に向けて「韓国政府は日本と協議する用意があり、呼びかけているが日本側が応じていない」と批判している。

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