サムスン、韓国産フッ化水素を量産ライン試験投入

日韓対立
2019/9/4 20:00
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量産ラインで使用し問題がないか確かめる(サムスン電子の半導体工場)

量産ラインで使用し問題がないか確かめる(サムスン電子の半導体工場)

【ソウル=鈴木壮太郎】韓国サムスン電子が半導体の量産ラインで韓国産フッ化水素を使い始めたことが4日明らかになった。日本政府が半導体材料3品目の輸出管理を強化した7月以降、同社は日本製以外の代替品のテストを重ねてきた。一部の量産ラインで使ってみて、問題がないかを確かめる狙いとみられる。

サムスン電子の関係者は4日、「供給先を多角化する一環で、一部ラインで日本製以外のテストを進めている」と認めた。

業界関係者によると、サムスンは8月下旬から、韓国メーカーが供給するフッ化水素をひとつの生産ラインで使い始めた。フッ化水素はウエハーの洗浄などに使われるが、まずは品質への影響が少なそうな工程で取り入れる。

今回、量産ラインに投入したのは中国から輸入し、韓国メーカーが加工したフッ化水素という。ただ、サムスンは企業名など詳細は明らかにしていない。SKハイニックスも日本製に代わる代替品が量産ラインに使えるか評価中だ。

韓国のフッ化水素の最大の輸入国は中国だが、半導体生産に使う超高純度品に限れば、日本のステラケミファと森田化学工業(大阪市)がほぼ9割のシェアを握る。日本メーカーは中国から原料を輸入し、日本の工場で純度を高めて韓国に輸出してきた。

ただ、日本製以外のフッ化水素を本格採用するかについては慎重だ。日本政府は8月末、フッ化水素の輸出を許可した。半導体産業の関係者は「日本製が安定供給されるのならそのまま使い続ける。今回の措置は日本から供給されない事態に備えた対応策の一環だ」と強調している。

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