2019年7月19日(金)

名古屋大など、次世代パワー半導体の試作を受託

エレクトロニクス
科学&新技術
2019/5/22 17:03
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名古屋大学の天野浩教授らの研究グループは22日、次世代のパワー半導体として期待される「窒化ガリウム」を使った半導体素子を試作する設備を稼働したと発表した。省エネルギーで小型のパワー半導体や無線通信機、レーザーなどへの応用が期待されており、企業などからの試作を受け付ける。大学の技術やノウハウを実用化に役立てる。

名古屋大の天野浩教授(右)らは窒化ガリウムを使ったパワー半導体の試作ラインを稼働したと発表した(22日、都内)

パワー半導体は電力の制御などに使うもので、多くの電子機器に使われている。電力を変換する際の損失を小さくするため、材料を従来のシリコンから炭化ケイ素にしたものの利用が広がっている。窒化ガリウムを使うと小型で、シリコンに比べて10%以上消費電力を減らした次世代型が実現すると注目を集めている。

研究グループは窒化ガリウムの品質を保ったまま加工する技術や、結晶を高品質につくる技術などを新たに開発。これを取り入れて半導体素子の試作ラインを作った。要望に合わせた試作を受け付ける。

名古屋大学内に約1000平方メートルの専用のクリーンルームを整備し、独自開発した製造装置や分析装置を設置した。名古屋大の技術やノウハウを活用して製造できる。天野教授は「産業界から研究成果を使いたい声があれば対応していきたい」と話す。

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