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パルメソ、検査試料向け精密研磨装置

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電子装置開発のパルメソ(新潟県長岡市)は電子部品や素材などの検査に使う精密研磨装置を開発した。検査対象物に大量の微粒子を高速で吹き付け、表面を高精度で加工する。装置の操作は容易で、対象物の変質も少ない。微小で複雑な構造を観察する際に使う試料を簡単に作製できる。4月中にも大学や企業の研究機関向けに販売を始める。

研磨装置は素材を平滑にするのが一般的だが、新たな装置は素材をすり鉢状にする「斜め研磨」が...

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