半導体微細加工をコスト減、エリオニクスが産総研と

2019/1/29 20:00
情報元
日本経済新聞 電子版
保存
共有
その他

電子ビーム描画装置大手のエリオニクス(東京都八王子市)は、産業技術総合研究所と共同で、半導体製造用の微細加工「ナノインプリント」を低コストでできる高速描画装置を開発した。回路の幅がナノメートル(ナノは10億分の1)レベルの半導体量産に必要な部品をつくりやすくした。半導体製造装置メーカーなどに向け、12月にも販売を始める。

ナノインプリントは紫外線硬化樹脂を載せたシリコンウエハーに微細回路を描く技…

日経電子版が最長2月末まで無料!
初割は1/24締切!無料期間中の解約OK!

[有料会員限定] この記事は会員限定です。電子版に登録すると続きをお読みいただけます。

電子版トップ



[PR]