2019年6月17日(月)

ボールウェーブ、微量の水分検知 半導体製造から月も
技あり企業

2019/1/7 23:00
情報元
日本経済新聞 電子版
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ボールウェーブ(仙台市)はごくわずかな水分でも検知できる計測機器を開発・販売する、東北大学発のベンチャー企業だ。その製品は半導体をはじめ、製造過程での水分が天敵となる業界で使われている。将来的には、宇宙で水資源を探すことにも使用されることを目指している。

半導体の製造過程で使うガスに水分が含まれていると、劣化や故障の原因になりやすい。デバイスの高集積化や微細化が進み、ごくわずかな水分量でも影響す…

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