セミコン・ジャパン開幕、パワー半導体やEV向け装置競う

2017/12/13 17:26
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日本経済新聞 電子版
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半導体製造装置の国際展示会「セミコン・ジャパン」が13日、東京ビッグサイト(東京・江東)で開幕した。半導体市場はシリコンサイクルを覆す勢いで成長が続いているが、ディスコや日立ハイテクノロジーズ、アドバンテストはパワー半導体や電気自動車(EV)用半導体、フレキシブル基板など次の成長市場を見据えて技術を競った。

ディスコはパワー半導体に使う炭化ケイ素(SiC)製ウエハーの生産効率を従来より5割高めた…

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