2018年7月21日(土)

日放電子、大気圧プラズマ装置を販売 表面洗浄用

2017/11/8 22:00
情報元
日本経済新聞 電子版
保存
共有
その他

 川崎市を拠点に電子機器や放送用機器などを手掛ける日放電子(東京・千代田)は大気圧で使えるプラズマ表面処理装置の販売を始めた。半導体などの製造時に素材表面を洗浄するのに使う同装置は、これまで大きな真空容器内で処理するのが通常だった。大気圧の中で処理できるようにすることで小型化でき、既存の製造ラインの中にも容易に組み込める。

 販売を始めた大気圧プラズマ表面処理装置は米サーフテクノロジーズ社(カリフォ…

[有料会員限定] この記事は会員限定です。電子版に登録すると続きをお読みいただけます。

関連企業・業界 日経会社情報DIGITAL

電子版トップ



[PR]

日本経済新聞社の関連サイト

日経IDの関連サイト

日本経済新聞 関連情報