JASRI・理研・神島化学工業、200ナノメートルの構造を解像できる高解像度X線イメージング検出器を開発

発表日:2019年3月15日

200ナノメートルの構造を解像できる高解像度X線イメージング検出器の開発

－電子デバイスの非破壊検査の実現－

高輝度光科学研究センター（JASRI）計測技術開発チームの亀島敬研究員（理化学研究所 放射光科学研究センター データ処理系開発チーム 客員研究員）、理化学研究所 放射光科学研究センター データ処理系開発チームの初井宇記チームリーダー、および神島化学工業株式会社 セラミックグループ 柳谷高公グループマネージャー、村松克洋チームリーダーらの研究グループは、200ナノメートル（nm,nmは10億分の1メートル）の構造を解像できる高解像度X線イメージング検出器の開発に成功しました。このX線イメージング検出器は世界最高の解像力を有し、これまでにない精細なX線画像を得ることができます。

詳細はSPring-8のホームページ（ http://www.spring8.or.jp/ja/news_publications/press_release/2019/190315/）をご覧ください。