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JASRI・理研・神島化学工業、200ナノメートルの構造を解像できる高解像度X線イメージング検出器を開発

発表日:2019年3月15日

200ナノメートルの構造を解像できる高解像度X線イメージング検出器の開発

-電子デバイスの非破壊検査の実現-

高輝度光科学研究センター(JASRI)計測技術開発チームの亀島敬研究員(理化学研究所 放射光科学研究センター データ処理系開発チーム 客員研究員)、理化学研究所 放射光科学研究センター データ処理系開発チームの初井宇記チームリーダー、および神島化学工業株式会社 セラミックグループ 柳谷高公グループマネージャー、村松克洋チームリーダーらの研究グループは、200ナノメートル(nm,nmは10億分の1メートル)の構造を解像できる高解像度X線イメージング検出器の開発に成功しました。このX線イメージング検出器は世界最高の解像力を有し、これまでにない精細なX線画像を得ることができます。

詳細はSPring-8のホームページ( http://www.spring8.or.jp/ja/news_publications/press_release/2019/190315/)をご覧ください。

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