2019年1月21日(月)

プレスリリース

東大、ガラスのレーザー加工を従来の5000倍の速さで実現

2018/8/6 13:00
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発表日:2018年8月6日

ガラスのレーザー加工を従来の5000 倍の速さで実現

~電子機器の高性能化・低コスト化に期待~

1.発表者:

・伊藤佑介(東京大学大学院工学系研究科機械工学専攻 博士課程3年)

・吉崎れいな(東京大学大学院工学系研究科機械工学専攻 修士課程2年)

・宮本直之(東京大学大学院工学系研究科機械工学専攻 修士課程1年)

・杉田直彦(東京大学大学院工学系研究科機械工学専攻 教授)

2.発表のポイント:

◆フェムト秒レーザー光で瞬間的に形成した電子密度の高い領域に透過波長レーザー光を吸収させることで、従来の5000 倍の速さでガラスの精密加工を実現しました。

◆ガラス材料のレーザー加工は加工速度が極めて遅いという課題と精密加工が困難であるという課題を抱えていましたが、それらの課題を同時に解決することに成功しました。

◆本技術は多くの材料に適用可能であり、電子機器や光学機器の高性能化や低コスト化に貢献すると期待されます。

3.発表概要:

東京大学大学院工学系研究科機械工学専攻の伊藤佑介大学院生、杉田直彦教授らは、ガラスの微細精密加工を従来の5000 倍の速さで実現するレーザー加工技術の開発に成功しました。

電子機器や光学機器の高性能化のためにガラス材料に微細加工を施す技術の開発が求められています。ガラス材料に微細加工を施す技術としてフェムト秒レーザー加工(注1)が注目されており、加工性能の向上を目指した研究が盛んに行われています。しかしガラスのフェムト秒レーザー加工には加工速度が極めて遅いという課題と加工時にクラックができるために精密加工が困難という課題が存在しており、実用化に大きな障壁がありました。

本研究グループは、フェムト秒レーザー光で瞬間的に形成した電子密度の高い領域に透過波長レーザー光を吸収させることで、従来技術の5000 倍の加工速度を達成し、なおかつクラックの存在しない精密加工を実現しました。この技術はガラスに限らず多くの材料に適用可能であり、今後電子機器をはじめとする多くの製品の高性能化、低コスト化に貢献すると期待されます。

※以下は添付リリースを参照

リリース本文中の「関連資料」は、こちらのURLからご覧ください。

添付リリース

http://release.nikkei.co.jp/attach_file/0487025_01.pdf

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