東北大、ディープラーニングなどAI技術を活用した超高速の3次元高分解能観察技術の開発に成功

発表日:2018年4月12日

ディープラーニングなどAI技術を活用した超高速の3次元高分解能観察技術の開発に成功

※参考資料は添付の関連資料を参照

【発表のポイント】

・「非対称解像度での計測」と「AI技術での超解像」を複合する枠組みを提案

・「直交型FIB-SEM」によるコンポジット中のナノ粒子構造を2nmの解像度で計測

・非対称解像度で計測したFIB-SEMデータを情報処理で高解像度化・高速化

【概要】

国立大学法人東北大学（総長:大野 英男/以下、東北大学）多元物質科学研究所（IMRAM）の陣内 浩司教授、樋口 剛志助教と防衛大学校の萩田 克美講師は共同で、従来の集束イオンビーム-走査型電子顕微鏡（FIB-SEM）*1による3次元ナノ計測の分解能と計測時間を、最新のディープラーニング（DL）等の人工知能（AI）技術を用いて高解像度化・高速化する計測技術の試作に成功しました。ポリマー中に分散させたシリカ粒子の3次元凝集構造の2nmの解像度での計測を実現し、さらに、非対称低解像度計測を模擬したデータに対するDL超解像処理の試験において、試作した計測手法を実証しました。本技術により、実用上の解像度を確保しつつ計測時間を短縮するハイスループット化や、高解像度化が可能となります。今回の実例に限らず様々なソフトマテリアル*2複合材料に展開可能で、今後、DLなどのAIを用いた材料開発のひとつとして期待されます。

この研究成果は、4月12日10時（英国時間）にNature Publishing Groupの電子ジャーナルScientific Reportsに掲載される予定です。

※以下は添付リリースを参照

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参考資料

http://release.nikkei.co.jp/attach_file/0476833_01.JPG

添付リリース

http://release.nikkei.co.jp/attach_file/0476833_02.pdf