2019年4月23日(火)

日本タングステン、半導体製造向け部品 佐賀で量産へ

2017/7/25 6:00
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日本経済新聞 電子版
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日本タングステンは半導体製造で使う部品を開発した。シリコンウエハーに回路を書き込む際に用いる部品で、新たな素材を採用し、従来より最大で30倍以上耐久性が向上したという。佐賀県の工場に約5億円を投じて生産設備などを導入し、早ければ1年後をメドに量産する。同社では技術革新による市場の変化で主力商品の一部の販売が低迷しており、新分野参入で業績向上を目指す。

開発したのは「フォーカスリング」と呼ぶリング…

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