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ニコン、蘭ASMLを特許侵害で提訴 半導体露光装置巡り

ニコンは24日、半導体露光装置の特許を巡って、オランダのASMLなどに対し特許侵害の訴訟を起こしたと発表した。半導体露光装置の販売差し止めと、損害賠償を請求している。

オランダのハーグ地方裁判所、ドイツのマンハイム地方裁判所、東京地方裁判所に、同日提起した。今回の訴訟はASMLと、同社に光学部品を供給する独カールツァイスSMTの2社に対し提起している。損害賠償の具体的な額については明らかにしていない。

ASMLは半導体露光装置で9割のシェアを持つ世界最大手。装置の特許を巡っては、2001年にもニコンがASMLを訴えた。裁判は04年に和解で決着し、ニコンが約160億円の和解金を受け取った経緯がある。今回ニコンは「ASMLらが当社の技術を無断で使い続けていると確信し、訴訟手続きを始めた」としている。

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