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蘭ASML、ニコンを提訴 半導体製造装置の「特許侵害」で

(更新)

【ロンドン=黄田和宏】オランダの半導体製造装置メーカー大手、ASMLは28日、ニコンを特許侵害で提訴したと発表した。ASMLはニコンが特許の相互ライセンス契約について、交渉に「真摯に臨まない」と主張。ニコンが24日、ASMLを特許侵害で提訴したことを受けて、対抗措置に踏み切った。

ニコンはASMLが半導体露光装置の特許を侵害したとして、販売差し止めと損害賠償を求めており、これに対して、ASMLは「全面的に反論する」と主張している。

今回の訴訟はASML単独、および、部品供給元であるカールツァイスSMTとの共同で、半導体製造装置やフラットパネルディスプレー製造装置、デジタルカメラ分野などで、10件以上の特許が対象になるという。日本に続いて、今後、米国でもニコンを提訴する方針だ。

ASMLとニコンは2004年に特許紛争で和解。一部の特許を除き、両社は09年まで相互ライセンス契約を結び、14年までは法的手続きを取らないことで合意していた。15年以降、両社は特許を巡る交渉で合意を見いだせず、今回の訴訟合戦に発展した。

ニコンはASMLの提訴を受けて「提訴内容を慎重に検討し、訴訟の進行に即して対応する」とコメントした。

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