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東哲郎(13)露呈した弱点

得意の横型炉 時代遅れに 険しい壁越え縦型開発で飛躍

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DNAやウイルスは2~数百ナノ(ナノは10億分の1)メートルという大きさ。半導体製造の世界も同じだ。微細な加工技術が生命線である。生産工程の一つに「拡散プロセス」がある。1000~1200度に熱した炉に円盤状のシリコンウエハーを入れ、小さな不純物を含んだ化学ガスを染み込ませる。

1~2時間かかる工程だ。一度に100枚以上のウエハーを効率よく炉に収めて処理する必要がある。東京エレクトロンはウエハーを垂直に立て、これ...

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東哲郎

日本最大、そして世界3位の半導体製造装置メーカー、東京エレクトロン。ベンチャースピリットに満ちた同社トップに40代半ばの若さで抜てきされたのが東哲郎さんです。ITバブルの崩壊による業績悪化、幻に終わった米社との経営統合……その道のりは決して平たんなものではありませんでした。パソコンからスマートフォンへと主役が交代する激動の時代を舞台に、挑戦の物語が繰り広げられます。

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