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キヤノンが半導体装置工場

500億円投資、次世代型も開発

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キヤノンは栃木県に半導体装置の新工場を建設する。総投資額は500億円強で生産能力を現在の2倍に高めて2025年春の稼働を目指す。増産するのは半導体の中核工程である回路形成に使う露光装置で、低コストで先端の微細回路を形成できる次世代装置も開発し生産を視野に入れる。日本でも半導体産業の技術革新を見据えた投資が本格化する。

露光は半導体の回路形成に不可欠な中核技術だ。キヤノンは宇都宮事業所(宇都宮市)...

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