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半導体装置の部材増産 中興化成、5Gに的

長崎でウエハー洗浄槽 10億円投資、栃木は薬品用管

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フッ素樹脂加工メーカーの中興化成工業(東京・港)は、約10億円を投じ、半導体製造装置で使うシリコンウエハー洗浄槽や洗浄液用チューブの生産能力を2倍に高める。松浦工場(長崎県松浦市)で生産設備を増強するほか、2021年に宇都宮工場(栃木県鹿沼市)でラインを新設する。次世代通信規格「5G」の商用化で、半導体装置需要の拡大を見込む。

松浦工場では、洗浄槽の生産ラインを2倍に拡張する。洗浄槽はフッ素樹脂で...

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