半導体製造装置 進む世代交代
インテルなど、今年投資最高に 微細化「EUV」で加速

2020/3/5付
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日本経済新聞 朝刊
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台湾積体電路製造(TSMC)と米インテルが2020年の設備投資を積み増し、過去最高水準に高める。韓国サムスン電子も19年比で増やす見込みだ。「EUV(極端紫外線)」を使う露光装置の登場で、10年ぶりに半導体の製造プロセスの世代交代が起きているからだ。新型コロナウイルスが投資意欲に水を差す恐れはあるが、装置メーカーの優勝劣敗が加速しそうだ。

TSMCは20年の設備投資を最大160億ドル(約1兆70…

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